涉科光电

产品中心 Products

飞秒微加工系统

发布时间:2018-08-13 16:17
作者:admin

飞秒微加工系统主要由飞秒激光和高精度平台搭配而成,能够实现很多材料研究和开发领域上的快速以及精细的材料加工 ,主要应用于免热损伤的“冷”切除,钻孔和高精度,无热损伤的切割,是一种在蒸发物质的同时,不会产生热量的新方法,非常适用于坚硬物质的精细微加工,如金属、聚合物、半导体组件、玻璃和陶瓷等。

 

主要应用

  • 光子、微电子、MEMS器件的双光子聚合三维微细加工

  • 工业相关材料的烧蚀包括金属,聚合物、半导体、玻璃、陶瓷、生物目标 (激光铣、切割、划片和选 择性材料去除)

  • 波导和电介质中的微流体的批量写入

  • 模式生物体内的亚细胞微型手术

  • 表面微米和纳米结构(传感器和仿生材料)

 

 

 

基本模块

  1. 研究级光学平台(1um平整度,带隔振)

  2. 高精度三轴电动平台(分辨率1nm,重复精度50nm,准确度300nm

  3. WLED照明和500万像素彩色成像

  4. 10倍物镜用于激光加工和成像

  5. 真空吸附夹具

  6. 3D激光微加工软件操作界面

 

扩展模块

  • 高速三维加工(2D  2.5D 振镜)

  • 多物镜转盘

  • 自动聚焦单元

  • 激光功率和光斑控制单元

  • 偏振控制单元



扫一扫在手机上阅读本文章